橡膠密封熱式質(zhì)量流量計4800 系列

        經(jīng)驗(yàn)證具有靈活性，能夠滿足各種質(zhì)量流量測量需求。

        布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測量儀器。結(jié)果：使運(yùn)營投資價值和回報。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過程

• 實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

• 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

• 薄膜氣相沉積

• 熱處理、切割等其他熱過程

• 真空應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

響應(yīng)時間極快，適用于對時間要求嚴(yán)格的工藝

型號 4850 / 4860

        熱式質(zhì)量流量計和控制器的響應(yīng)速度越快，工藝就越高效，生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢：該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度，因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實(shí)際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項(xiàng)能便于用戶對設(shè)備進(jìn)行查看、控制和配置，無需遠(yuǎn)程二次儀表。

特點(diǎn)

• 流量響應(yīng)時間（完成時間）<0.75 s

• 創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和的 PID 算法

• 尺寸小巧，不足常規(guī)熱式MFC的 一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)

• 本地操作界面 (LOI) 選項(xiàng)可簡化設(shè)置和操作；免費(fèi)提供 LabVIEW VI 下載以進(jìn)行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零

• 通過 RS-232 實(shí)現(xiàn)數(shù)字化功能

優(yōu)勢

• 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體

• 響應(yīng)速度快，可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成

• 非常適用于各 OEM：尺寸小巧，可輕松集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝

• 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案；無需借助遠(yuǎn)程二次儀表

• 擁有多種通信方式，可輕松滿足用戶需求

應(yīng)用

• 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝

• 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)

• 用于測量和控制反應(yīng)物、校準(zhǔn)和樣品氣體流量的分析設(shè)備

型號

規(guī)格

性能

等級

機(jī)械

診斷和顯示

電氣

附加設(shè)備

承諾