旋涂技術(shù)常用的設(shè)備是旋涂機(jī)，旋涂機(jī)又叫甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)。一般來說，它們的原理都是一樣的，就是將各種膠水滴在高速旋轉(zhuǎn)的底板上，通過離心力使滴在基板上的膠水均勻地涂在底板上。厚度取決于不同膠水與底板之間的粘度系數(shù)，也與旋速和時(shí)間有關(guān)。

　　原則上，旋涂機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)：(1)旋速。旋速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂的厚度控制和薄膜均勻性。如果電機(jī)的標(biāo)注旋速與實(shí)際旋速存在較大誤差，要求精確鍍膜的科研人員就不可能獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。目前，速度控制有國際標(biāo)準(zhǔn)，如美國的NIST標(biāo)準(zhǔn)。(2)真空吸附系統(tǒng)。真空泵一般采用無油泵，即干式泵，因?yàn)槿魏斡臀鄱伎赡芏氯婵展艿?。如果真空吸附力降低，會?dǎo)致底板吸附不上的情況，造成‘飛片’，滴下的膠水會意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)，造成堵塞。當(dāng)真空吸附力不足時(shí)，通過聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，一些旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)不會開始旋轉(zhuǎn)，這樣可以有效防止滴下的膠水無意中進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。一般來說，它們的原理都是一樣的，就是將各種膠水滴在高速旋轉(zhuǎn)的底板上，通過離心力使滴在基板上的膠水均勻地涂在底板上。厚度取決于不同膠水與底板之間的粘度系數(shù)，也與旋速和時(shí)間有關(guān)。

　　如何選擇旋涂機(jī)：

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：旋轉(zhuǎn)速度的速度和控制精度直接關(guān)系到旋涂的厚度控制和薄膜均勻性。如果電機(jī)的標(biāo)注旋速和實(shí)際轉(zhuǎn)速與旋涂機(jī)圖冊誤相差很大，要求精確鍍膜的科研人員就不可能獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。國內(nèi)大多數(shù)低端旋涂機(jī)只能提供速度范圍，無法校準(zhǔn)實(shí)時(shí)速度。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。真空泵必須無油，且壓力校準(zhǔn)準(zhǔn)確。國產(chǎn)無油真空泵真的不敢恭維，因?yàn)槿魏斡臀鄱加锌赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，就會?dǎo)底板吸附不上，產(chǎn)生“飛片”的情況，膠滴會意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)，造成堵塞。用過國產(chǎn)旋涂機(jī)的客戶，往往會關(guān)心如何清洗。

　　3、材料選擇。對于半導(dǎo)體化工旋涂機(jī)的應(yīng)用，材料的選擇尤為關(guān)鍵。國內(nèi)的旋涂機(jī)大多采用鐵板噴漆或者普通塑料材料，因?yàn)檫@種材料成本很低。如果這種變形導(dǎo)致托盤的位置失去水平，就會導(dǎo)致旋涂時(shí)高低不平的狀態(tài)，自然不能獲得良好的旋涂效果。目前部分國外品牌使用天然聚丙烯或聚四氟乙烯，這兩種材料具有環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度高、耐沖擊性好、經(jīng)久耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。