從旋涂機(jī)的原理可以看出，選購(gòu)旋涂機(jī)時(shí)需要注意的一些細(xì)節(jié)。下面給大家分享一下旋涂機(jī)的選購(gòu)技巧，一起來了解吧!

　　1.抬前輪速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂的厚度控制和薄膜均勻性。如果電機(jī)的標(biāo)注轉(zhuǎn)速與實(shí)際轉(zhuǎn)速存在較大誤差，要求精確鍍膜的科研人員就不可能獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。國(guó)內(nèi)有些旋涂機(jī)只能提供速度范圍，不能校準(zhǔn)實(shí)時(shí)速度。雖然大部分進(jìn)口的旋涂機(jī)都可以標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度都沒有得到標(biāo)準(zhǔn)的認(rèn)可。建議購(gòu)買速度控制的標(biāo)準(zhǔn)。

　　2.真空吸附系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

　　真空泵必須無油，且壓力校準(zhǔn)準(zhǔn)確。國(guó)產(chǎn)無油真空泵真的不敢恭維。因?yàn)槿魏斡臀鄱加锌赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，就?huì)導(dǎo)致基板吸附不上，產(chǎn)生‘飛片’的情況，還會(huì)使膠滴意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)，造成堵塞。用過國(guó)產(chǎn)旋涂機(jī)的客戶，往往會(huì)關(guān)心如何清洗。許多國(guó)外旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)做得很好。它們有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，如果真空吸附力不夠，就不會(huì)開始轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　3.材料的選擇

　　對(duì)于半導(dǎo)體化學(xué)工業(yè)的應(yīng)用，材料的選擇尤為關(guān)鍵。大部分的旋涂機(jī)都是用不銹鋼或者普通塑料制成的，因?yàn)檫@種材料的成本很低，不銹鋼對(duì)各種化學(xué)粘合劑的耐腐蝕性不是很好，塑料在高溫高壓下容易變形。

　　如果這種變形導(dǎo)致托盤的位置失去水平，就會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)高低不平的狀態(tài)。自然，不能獲得良好的旋涂效果。例如，美國(guó)的模型是由天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)制成的。這兩種材料具有環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度高、耐沖擊性好、經(jīng)久耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。

　　然后，旋涂機(jī)工作前的準(zhǔn)備工作如下：

　　1.旋涂機(jī)收到時(shí)，旋涂機(jī)的鍋體需要用通風(fēng)螺絲固定，鍋蓋上的手柄配件都有，所以收到時(shí)需要用螺母固定;

　　2.用雙插頭電源線將機(jī)器連接到安全的220V電網(wǎng)。

　　3.用真空泵的接頭將真空泵與機(jī)體后部的吸嘴連接起來;(如果使用其他真空泵，應(yīng)使用合適的連接器以確保連接的可靠性)

　　4.用干凈的布擦鍋。如果有鍋墊，就放上，保持鍋的干凈。

　　5.之后安裝適合襯底的托盤，讓旋涂機(jī)開始實(shí)驗(yàn);