旋涂機(jī)顧名思義，是一種將膠水均勻涂在基材上的機(jī)器。有許多方法，如輥涂、浸涂、噴涂、旋涂等。各有利弊。不同的應(yīng)用采用不同的膠合方法。其中，旋涂被廣泛使用，因?yàn)樗梢詫?shí)現(xiàn)高均勻性，并且它是半導(dǎo)體微電子領(lǐng)域中光刻的通用方法。

　　旋涂機(jī)在運(yùn)行時(shí)，不影響同房間的其他設(shè)備，保證其他設(shè)備的正常使用(如指針不漂移等);同時(shí)也不會(huì)受到同一個(gè)房間內(nèi)其他設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的磁場(chǎng)的干擾，保證了實(shí)驗(yàn)結(jié)果的穩(wěn)定可靠。

　　旋涂機(jī)工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基板，使滴在基板上的膠水在離心力的作用下均勻地涂在基板上。在各種溶膠-凝膠實(shí)驗(yàn)中經(jīng)常使用旋涂機(jī)來制作薄膜，其厚度取決于不同膠水與基底之間的粘度系數(shù)，也與轉(zhuǎn)速和時(shí)間有關(guān)。多可設(shè)置20個(gè)程序段，存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段可設(shè)置51種速度變化。電流參數(shù)具有斷電保護(hù)功能。

　　那么如何選購(gòu)合適的旋涂機(jī)?

　　目前，旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)市場(chǎng)品牌眾多，良莠不齊。下面一起來了解。

　　1.轉(zhuǎn)速：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂的厚度控制和薄膜均勻性。如果電機(jī)的標(biāo)注轉(zhuǎn)速和實(shí)際轉(zhuǎn)速與旋涂機(jī)圖冊(cè)誤相差很大，要求精確鍍膜的科研人員就不可能獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。國(guó)內(nèi)大多數(shù)低端旋涂機(jī)只能提供速度范圍，無法校準(zhǔn)實(shí)時(shí)速度。

　　2.真空吸附系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

　　真空泵必須無油，且壓力校準(zhǔn)準(zhǔn)確。國(guó)產(chǎn)無油真空泵真的不敢恭維。因?yàn)槿魏斡臀鄱加锌赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，就?huì)導(dǎo)致基板吸附不上，產(chǎn)生“飛片”的情況，膠滴會(huì)意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)，造成堵塞。用過國(guó)產(chǎn)旋涂機(jī)的客戶，往往會(huì)關(guān)心如何清洗。許多國(guó)外旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)做得很好。它們有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，如果真空吸附力不夠，就不會(huì)開始轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　3.材料的選擇

　　對(duì)于半導(dǎo)體化學(xué)工業(yè)的應(yīng)用，材料的選擇尤為關(guān)鍵。國(guó)內(nèi)的旋涂機(jī)大多采用鐵板漆或者普通塑料材料，因?yàn)檫@種材料成本很低。如果這種變形導(dǎo)致托盤的位置失去水平，就會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)高低不平的狀態(tài)。自然，不能獲得良好的旋涂效果。目前部分國(guó)外品牌使用天然聚丙烯或聚四氟乙烯(特氟隆)材料。這兩種材料具有環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度高、耐沖擊性好、經(jīng)久耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。