勻膠機(jī)的基本原理是在高速旋轉(zhuǎn)基板中，利用離心力使基板上的橡膠液均勻地涂在基板上，膜厚度與粘度之間的粘度系數(shù)、旋轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)時(shí)間相關(guān)，一般速度在2000rpm以上，勻膠機(jī)速度的穩(wěn)定性和重復(fù)是確定膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵。

　　勻膠機(jī)主要用于微機(jī)械加工、生物學(xué)、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜等領(lǐng)域，如光學(xué)和表面涂層，或在樣品較小的情況下，不可能通過(guò)拉涂膜或刮涂膜來(lái)進(jìn)行涂覆基材的涂覆。固定樣品的方法通常有兩種：真空吸盤(pán)固定樣品，樣品托盤(pán)帶有卡槽固定樣品。在用真空吸盤(pán)固定樣品過(guò)程中，需要真空吸附裝置，真空吸附適合于固定表面光滑、平面度好的樣品，不因真空吸附而變形的基片;帶卡槽的樣品盤(pán)可用于固定柔軟、形狀不規(guī)則、尺寸大的基片。

　　勻膠機(jī)的類(lèi)型和特點(diǎn):

　　旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)由單片機(jī)控制，抗干擾性能高，轉(zhuǎn)速在1000-8000RPM范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。涂層有兩個(gè)工作階段。在T1低速階段，膜液逐漸分散，完成注膠過(guò)程。在T2高速階段，膜液均勻分散在基板表面，形成厚度均勻的薄膜，完成膠水流平過(guò)程。樣品用帶凹槽的聚丙烯樣品卡盤(pán)固定，以固定基底。根據(jù)基底的不同形狀和大小，可以在任意分布的模板上開(kāi)出不同形狀和大小的凹槽，使用方便，操作簡(jiǎn)單，對(duì)基底無(wú)損傷。可固定的較大樣品尺寸為55㎜×55㎜。

　　真空勻膠機(jī)設(shè)備標(biāo)配3個(gè)不同程度大小的真空吸盤(pán)。利用真空盤(pán)吸附的方式以及固定基片，勻膠機(jī)設(shè)備可以利用兩段程序內(nèi)部控制發(fā)展速度。涂設(shè)有一個(gè)兩個(gè)方面工作學(xué)習(xí)階段，T1低轉(zhuǎn)速注膠階段，T2高轉(zhuǎn)速勻膠階段。當(dāng)勻膠結(jié)束后真空泵繼續(xù)教育工作需要一段沒(méi)有時(shí)間后待機(jī)器能夠停止正常運(yùn)轉(zhuǎn)后涂膜的整個(gè)教學(xué)過(guò)程已經(jīng)結(jié)束。轉(zhuǎn)速影響范圍：500-8000rpm，可吸附能力較大樣片尺寸φ100㎜。

　　型真空勻膠機(jī)采用真空盤(pán)吸附固定試樣,采用兩級(jí)程序控制速度,T1低速膠合階段,T2高速均質(zhì)階段。均質(zhì)結(jié)束后，真空泵繼續(xù)工作一段時(shí)間，機(jī)器停止運(yùn)行后，整個(gè)涂布過(guò)程結(jié)束。轉(zhuǎn)速范圍：500-8000rpm，可吸附樣品較大尺寸為200°。