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下面是勻膠機(jī)選購(gòu)應(yīng)注意的幾個(gè)細(xì)節(jié),大家一起來(lái)了解一下吧!
1、勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)速度
勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速的快慢和控制系統(tǒng)精度可以直接影響關(guān)系到旋涂層的厚度進(jìn)行控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際工作轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于企業(yè)要求精密涂覆的科研管理人員來(lái)說(shuō)是我們無(wú)法通過(guò)獲得更加準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)研究數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能發(fā)展提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然我國(guó)大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是由于大部分轉(zhuǎn)速精度沒(méi)有中國(guó)國(guó)際社會(huì)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
勻膠機(jī)真空泵須是無(wú)油的,壓力校準(zhǔn)準(zhǔn)確,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵不理想。由于任何油污都可能堵塞真空管,如果真空吸附力降低,會(huì)導(dǎo)致基底吸附不能活并產(chǎn)生“飛”,也會(huì)讓液滴意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。使用過(guò)國(guó)內(nèi)橡膠機(jī)的客戶(hù)往往關(guān)心如何清潔,許多國(guó)外橡膠機(jī)做得很好,他們有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu),如果真空吸附力不夠,就不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。
3、材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化學(xué)工業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),材料的選擇尤其重要。不銹鋼或普通塑料材料制成的膠水機(jī)大多數(shù),由于這類(lèi)材料的成本很低,不銹鋼對(duì)各種化學(xué)粘合劑的耐腐蝕性不是很好,塑料對(duì)高溫高壓變形。如果這種變形導(dǎo)致托盤(pán)的位置失水平,就會(huì)導(dǎo)致旋涂、高低起伏狀態(tài)。天然不能獲得良好的旋涂效果。例如,美國(guó)的模型是由天然聚丙烯或聚四氟乙烯、聚四氟乙烯制成的。這兩種材料具有綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度高、抗沖擊、堅(jiān)固耐用、圖案自然、光澤度好等特點(diǎn)。
4、旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)
所述的旋涂工藝中使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。膠水分配器、膠片分配器
原則上,勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制系統(tǒng)精度可以直接關(guān)系到旋涂層的厚度進(jìn)行控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于企業(yè)要求精密涂覆的科研管理人員來(lái)說(shuō)是一個(gè)無(wú)法獲得更加準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)研究數(shù)據(jù)的。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無(wú)油泵,即干式泵,因?yàn)槿魏斡臀鄱紩?huì)堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,基材不會(huì)被吸附,產(chǎn)生“飛片”。它還會(huì)使一滴膠水意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng),導(dǎo)致堵塞。有些均質(zhì)機(jī)通過(guò)連桿機(jī)構(gòu),當(dāng)真空吸附力不足時(shí)就不會(huì)開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)。這可以有效地防止滴膠意外進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。