根據(jù)基體轉(zhuǎn)速和膠體的變化，將勻膠機(jī)涂布過程分為幾個階段:滴膠階段、加速旋轉(zhuǎn)涂膠階段、旋轉(zhuǎn)均勻涂膠階段和去邊階段，均勻旋轉(zhuǎn)第三階段是控制膠體涂層厚度和均勻性的重要階段。膠水調(diào)平器，旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)。

　　1.勻膠機(jī)滴膠

　　滴膠前需要對膠水進(jìn)行亞微米級的過濾，否則薄膜可能會形成彗星圖、星形圖、氣泡。滴膠階段是將膠體溶劑沉積在基板中心位置的過程。可以手動滴，也可以用自動滴膠器滴?？偟膩碚f，自動滴膠法是一種自動化、機(jī)械化的操作，最終薄膜的厚度、均勻性、重復(fù)性都很好，還可以減少揮發(fā)性有毒氣體的接觸。手動滴膠屬于手工操作，適用于實(shí)驗要求較高的薄膜制備。滴膠過程可采用兩種方式:靜態(tài)滴膠或動態(tài)滴膠。靜態(tài)點(diǎn)膠是在基板旋轉(zhuǎn)前，先在基板中心點(diǎn)膠，動態(tài)點(diǎn)膠是在基板以一定速度(一般500轉(zhuǎn)/分)旋轉(zhuǎn)的同時點(diǎn)膠。

　　2.勻膠機(jī)攤膠-加速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)

　　膠體中的一些溶劑很不揮發(fā)。如果基底在短時間內(nèi)不能穩(wěn)定、快速地加速到設(shè)定的速度，膠體中的溶劑就會迅速揮發(fā)，導(dǎo)致膠體粘度迅速提高，從而影響涂層厚度的控制。勻膠機(jī)在加速旋轉(zhuǎn)階段，基底以一定的加速度旋轉(zhuǎn)，膠體溶劑開始擴(kuò)散到基底的邊緣，部分膠體開始被拋出基底。在加速的初始階段，膠體在基底表面以一定的高度聚集，膠體的底部與基底表面粘在一起并一起旋轉(zhuǎn)。而膠體的上層由于慣性，其速度不能與底物的速度相同，所以膠體形成螺旋。在離心力的作用下，隨著膠體不斷向基體邊緣擴(kuò)散，螺旋逐漸消失，膠體變薄進(jìn)入涂層并覆蓋基板表面，涂層基板的旋轉(zhuǎn)速度同步。

　　3.勻膠機(jī)旋涂去邊

　　在勻膠機(jī)均勻旋轉(zhuǎn)過程中，膠體的粘度和揮發(fā)度是影響薄膜厚度不均勻性的重要因素。當(dāng)膠體溶劑加速到設(shè)定速度時，形成了一定厚度的涂層。在隨后的均勻旋轉(zhuǎn)過程中，由于膠體的粘性力仍然小于離心力，所以涂層繼續(xù)擴(kuò)散到基底的邊緣，基底邊緣的膠體也連續(xù)拋出，并且涂層的厚度逐漸減小。同時，由于涂層已覆蓋整個基材表面，受基材上方快速氣體流動的影響，溶劑的揮發(fā)速度加快，導(dǎo)致膠體粘度增加，開始形成難以流動的膠體。此時，施加到凝膠涂層的所有方向上的力被平衡，并且涂層的厚度達(dá)到最終狀態(tài)。最后，在涂膜的邊緣部分中，由于膠的表面張力的作用，膜的邊緣部分中的膠難以從基材中拋出，可能形成厚度不均勻的薄層，甚至擴(kuò)散到基材的背面。因此襯底邊緣需要去邊緣。