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刻蝕機(jī)和光刻機(jī)我國技術(shù)如何?

2025年05月11日 08:42:11      來源:江蘇士磐半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量:8

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  ,芯片的原料是沙子,但是從沙子到芯片,中間有N道工序,需要N種設(shè)備和spire技術(shù)。在這些器件中,光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是較重要的。根據(jù)機(jī)構(gòu)的數(shù)據(jù),光刻機(jī)的成本約占24%,而刻蝕機(jī)的成本約占20%,這兩種設(shè)備加起來占44%。

  然后是薄膜沉積設(shè)備、測(cè)試設(shè)備和封裝設(shè)備,分別占20%、9%和6%。但是薄膜沉積設(shè)備不是只有一種,而是一種機(jī)器,種類很多,不同于光刻機(jī)和刻蝕機(jī)。

  那么問題來了,既然這兩種設(shè)備如此關(guān)鍵,那么國內(nèi)光刻機(jī)和刻蝕機(jī)技術(shù)怎么樣,與水平相比差距有多大?

  先說光刻機(jī),這是大家較為關(guān)心的。目前世界上的光刻機(jī)自然是ASML的0.55孔徑的EUV光刻機(jī)。價(jià)格在22億左右,可以生產(chǎn)2nm以下甚至艾米(0.1nm)級(jí)別的芯片。然后是ASML的EUV光刻機(jī),0.33口徑,十億元,可以生產(chǎn)5nm,4nm,3nm級(jí)別的芯片。但是,EUV光刻機(jī)只有ASML能生產(chǎn),連尼康和佳能都不能生產(chǎn)。目前國內(nèi)廠商上海微電子可以生產(chǎn),不為大眾所知(不太清楚),只能用90nm工藝,距離ASML至少還有10年。

  再說說刻蝕機(jī),這一塊國產(chǎn)的很厲害。國內(nèi)有一家廠商叫微半導(dǎo)體,生產(chǎn)刻蝕機(jī),精度3nm,被TSMC采用。微半導(dǎo)體的刻蝕機(jī)與國際應(yīng)用材料和林凡相比,處于同一水平,并不落后。另外薄膜沉積設(shè)備也是北方的華創(chuàng)生產(chǎn)的,但是精度在14nm左右,國產(chǎn)化率10%到15%。

  可以看到,半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵產(chǎn)品,除了光刻機(jī),都不是特別落后。只要國產(chǎn)光刻機(jī)能有所突破,純國產(chǎn)芯片的技術(shù)就能快速突破。

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