丝袜国偷自产中文字幕亚洲第一页_粉嫩XB粉嫩XB粉嫩XB_国产V精品V欧美V日韩V_国产在线不卡国产高清_欧美国产精品二区_国产欧美亚洲日韩图片_欧洲内射XXX高清_国产精品大白天新婚身材
廣告招募

哪些問(wèn)題會(huì)影響等離子清洗機(jī)的應(yīng)用

2025年05月11日 08:55:54      來(lái)源：江蘇士磐半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量：13

分享：

　　影響等離子清洗作用的要素有許多，其中最首要的是電源功率頻率、作業(yè)壓強(qiáng)、作業(yè)氣體種類以及清洗的時(shí)刻。等離子清洗的作用會(huì)跟著功率的增大而變好；作業(yè)壓強(qiáng)的挑選要根據(jù)清洗的基片進(jìn)行合理選用，當(dāng)以物理作用為主時(shí)應(yīng)減小壓力以增大離子能量。


　　當(dāng)以化學(xué)作用為主時(shí)要增大一些壓力，保證反響氣體濃度，清洗時(shí)刻也要保證清洗作用的一起減小能耗。電極的設(shè)計(jì)對(duì)等離子清洗作用有著顯著的影響，首要包括電極的材料、布局和尺度等要素。對(duì)于內(nèi)電極等離子清洗體系。


　　因?yàn)殡姌O暴露在等離子體中，某些材料的電極會(huì)被一些等離子體刻蝕或產(chǎn)生濺射現(xiàn)象，形成不必要的污染并導(dǎo)致電極尺度的變動(dòng)，進(jìn)而影響等離子清洗體系的穩(wěn)定性。電極的布局對(duì)等離子清洗的速度和均勻性有較大影響。


　　較小的電極距離可以將等離子體約束在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體，實(shí)現(xiàn)較快速度的清洗。跟著距離的添加清洗速度逐步下降但均勻性逐步增強(qiáng)，電極的尺度一般決定了等離子體系的全體容量，在電極平行分布的等離子清洗體系中，電極一般作為托盤(pán)運(yùn)用，較大尺度的電極可以一次清洗更多的元器件，進(jìn)步設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率。
版權(quán)與免責(zé)聲明：
1.凡本網(wǎng)注明"來(lái)源：中美貿(mào)易網(wǎng)"的所有作品，版權(quán)均屬于中美貿(mào)易網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)必須注明中美貿(mào)易網(wǎng)。違反者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。
2.企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術(shù)文章、資料下載等內(nèi)容，如涉及侵權(quán)、違規(guī)遭投訴的，一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔(dān)責(zé)任，本網(wǎng)有權(quán)刪除內(nèi)容并追溯責(zé)任。
3.本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來(lái)源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。 4.如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系。

丝袜国偷自产中文字幕亚洲第一页_粉嫩XB粉嫩XB粉嫩XB_国产V精品V欧美V日韩V_国产在线不卡国产高清_欧美国产精品二区_国产欧美亚洲日韩图片_欧洲内射XXX高清_国产精品大白天新婚身材