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講一講勻膠機(jī)的基本工作原理

2025年05月11日 09:01:14      來(lái)源：江蘇士磐半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量：6

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　　勻膠進(jìn)程介紹：一個(gè)典型的勻膠進(jìn)程包含滴膠，高速旋轉(zhuǎn)以及枯燥（溶劑蒸發(fā)）幾個(gè)步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片外表上，高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上構(gòu)成簿層，枯燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方法是靜態(tài)滴膠和動(dòng)態(tài)滴膠。


　　靜態(tài)滴膠便是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片外表的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的巨細(xì)來(lái)確定。粘度比較高或基片比較大，往往需求滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。


　　動(dòng)態(tài)滴膠方法是在基片低速（通常在500轉(zhuǎn)/分左右）旋轉(zhuǎn)的一起進(jìn)行滴膠，"動(dòng)態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪打開(kāi)，減少光刻膠的浪費(fèi)，采用動(dòng)態(tài)滴膠不需求許多光刻膠就能潤(rùn)濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片外表。


　　尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤(rùn)濕性欠好的情況下，動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用，不會(huì)發(fā)生針孔。滴膠之后，下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄到達(dá)終究要求的膜厚，這個(gè)階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能（包含粘度，溶劑蒸發(fā)速度，固體含量以及外表張力等）以及基片的巨細(xì)。
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