近年來隨著工業(yè)儀器儀表控制技術、微型機械系統(tǒng)的不斷發(fā)展，現(xiàn)如今在很多工況下需求體積更小巧、功能更集成、性能更優(yōu)異、長壽命、無油環(huán)保的微型真空泵、微型真空抽打氣泵、微型真空水泵等產品得到越來越多的廣泛使用。如：設備成套、實驗室抽真空添加試劑、汽車配件運用、環(huán)保采樣、食品飲料灌裝、工廠吸附設備主要氣源、一般應用氣路系統(tǒng)設計等領域有著巨大的應用前景。
        微型泵作為微流量控制系統(tǒng)的核心執(zhí)行部件，需要結合應用場景、微型泵相關參數(shù)和結構特性，對氣路中流量、真空度、壓力進行綜合設計，本文通過對于流量調節(jié)回路設計、真空度調節(jié)回路設計、壓力調節(jié)回路設計、進排氣切換回路設計、流量脈動性消除氣路設計，對微型泵典型氣路系統(tǒng)設計進行了描述，可作為工程設計人員在微型泵氣路設計和選型時的技術參考。

本設計指南包含以下內容：

前  言                                                                     1
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1 背景介紹                                                             4
    1.1 背景介紹                                                      4
    1.2 基礎知識                                                      4
    1.3 流量脈動性                                                   6
2 流量調節(jié)回路                                                      9
    2.1 流量調節(jié)回路設計                                        9
    2.2 通過調速功能調節(jié)流量                                10
    2.3 導致流量衰減的因素和解決方案                   11
3 真空度調節(jié)回路                                                  13
    3.1 真空度調節(jié)回路設計                                    13
    3.2 導致真空度衰減的因素和解決方案               14
4 壓力調節(jié)回路                                                     16
    4.1 壓力調節(jié)回路設計                                       16
    4.2 導致壓力衰減的因素和解決方案                  17
5 進排氣切換回路                                                 19
    5.1 采用二位四通閥實現(xiàn)進排氣切換                  19
6 流量脈動性消除方案                                          21
    6.1 通過緩沖氣室消除流量脈動性                     21
    6.2 其他替代方案                                              22