真空泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到傳輸氣體目的，按其工作的原理可以分為兩種類型：變?nèi)菡婵毡?、動量傳輸泵?br>

一、變?nèi)蓊愓婵毡茫?/h2>
利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。以其內(nèi)部隔膜、活塞、轉(zhuǎn)子的運動矢量又可以分為2種類型：

1、往復真空泵：

是利用泵腔內(nèi)活塞、隔膜做單一往復運動。氣嘴處有單向閥，在偏心圓電機的圓周運動帶動下，泵內(nèi)部的隔膜伸縮運動，將氣體吸入、壓縮并排出，因此稱為活塞泵或者隔膜泵，我司生產(chǎn)的氣泵均為此原理工作。此系列泵的特點是：多為無油泵，不污染介質(zhì)，體積微型化，采用小型直流電機居多。

因為往復式隔膜泵和活塞泵的上述特點，這一系列真空泵被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療儀器、分析儀器、監(jiān)測儀器等領(lǐng)域，用于傳輸不能被污染的介質(zhì)。

2.旋轉(zhuǎn)類真空泵：

是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子做旋轉(zhuǎn)運動，通過變?nèi)莸确绞綄崿F(xiàn)吸入氣體并排出的過程。旋轉(zhuǎn)式真空泵種類繁多，工業(yè)中較常用有如下系列： 旋片式真空泵：兩個（或以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵，通常旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封。旋片泵極限真空度，可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵，但它不適于抽取氧化性的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。



液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡茫敼ぷ饕后w為水時，又稱為水環(huán)式真空泵。

                                 
                                                             水環(huán)真空泵原理



羅茨真空泵：以羅茨風機演變而來，抽速大，轉(zhuǎn)子無需潤滑，允許被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣，但羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低（泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比),所以氣體在泵腔內(nèi)沒有被壓縮，吸入口產(chǎn)生的負壓很小，排氣口產(chǎn)生正壓也較低。
                                            
                                                        羅茨真空泵原理                                           



螺桿真空泵：利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的泵 爪式真空泵。工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況，不耗油，氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體，但成本高，依賴進口，不適合抽取強氧化、易燃易爆氣體。
                                       
                                                               螺桿真空泵原理


此系列的泵密封方式多采用油封、密封圈密封、機封等，屬于大型泵類，部分介質(zhì)會與泵油起化學反映，因此需根據(jù)使用場景選擇類型適合的泵。

二、動量傳輸泵

這種泵原理是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?渦輪分子泵:利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。此類型泵耐氣壓沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，不污染氣體，真空度，多用于控熱核反應(yīng)裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。

                     







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