在實際生產(chǎn)中，我們發(fā)現(xiàn)等離子清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起等離子清洗機達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。下面，等離子清洗機廠家介紹了幾個關(guān)鍵部位保養(yǎng)前后的效果以及如何進行保養(yǎng)。
一、真空腔體保養(yǎng)
等離子腔體清潔時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。
對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導入N2和O2，用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物，工作10min。
二、電極與托板架的保養(yǎng)
托板架和電極長時間使用后會附著氧化層，同時采用等離子體處理烴基材料時，一段時間后在托板架、電極，RF導電桿上會積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據(jù)附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩(wěn)定。清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。
注意：不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔；氫氧化鈉溶液會與鋁發(fā)生劇烈的化學反應，應小心謹慎以確保僅在所需的時間內(nèi)清除沉積物；反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區(qū)域應保持良好的通風。
三、真空泵的保養(yǎng)
查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，發(fā)現(xiàn)油位接近紅線刻度，加油到紅標線上下之間位置。
等離子清洗機在使用過程中，腔體內(nèi)出現(xiàn)的一些殘留物和氧化層，在前期發(fā)展階段，該薄層并不影響設備的運行或成品。但是經(jīng)過持續(xù)的運轉(zhuǎn)后，發(fā)現(xiàn)了清洗效果不穩(wěn)定，能察覺到微小改變，所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進行清洗翻新。
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