超聲波傳感器實(shí)現(xiàn)在線薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用

當(dāng)一個(gè)方向的長(zhǎng)度比其它兩個(gè)方向的長(zhǎng)度小時(shí)，這種結(jié)構(gòu)稱(chēng)之為薄膜。如今，微電子薄膜，光學(xué)薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類(lèi)生活中的不斷應(yīng)用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。

通常情況下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離，而實(shí)際上，薄膜的表面是不平整，不連續(xù)的，且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜，由于電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的聯(lián)系。因此在生產(chǎn)工藝中對(duì)膜厚進(jìn)行在線精確檢測(cè)， 是保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率的重要手段。

對(duì)于薄膜厚度的準(zhǔn)確測(cè)量，取決于使用什么樣的厚度傳感器，目前在線薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)主要有幾種方式：

1、貝它探頭，是用于薄膜檢測(cè)的傳感器，使用貝它放射源作為信號(hào)源，技術(shù)成熟。但是需要辦理放射源使用許可證，進(jìn)出口手續(xù)比較復(fù)雜。有半衰期的使用年限限制，且檢測(cè)精度會(huì)隨著放射源的衰減而降低。

2、紅外探頭，利用特定紅外線波段在特定的塑料薄膜中被強(qiáng)烈吸收的原理測(cè)量薄膜的厚度。該傳感器檢測(cè)穩(wěn)定，不受壞境變化影響，但對(duì)添加劑及顏色的變化敏感，在同一生產(chǎn)線上要生產(chǎn)多種產(chǎn)品不能適應(yīng)。

3、X線探頭，利用X線管通電產(chǎn)生X線作為信號(hào)源來(lái)檢測(cè)塑料薄膜的厚度。有諸多優(yōu)點(diǎn)：飛放射性物質(zhì)；低能量無(wú)需使用許可證；測(cè)量范圍廣；測(cè)量精度高；各種塑料都可測(cè)量，不受添加劑和色母料的影響。

目前膜厚測(cè)量?jī)x器向高精度、自動(dòng)化方向發(fā)展， 已達(dá)到很高的水平， 其測(cè)量精度對(duì)一般膜層為被測(cè)膜厚的±2％～±5％， 對(duì)于較薄膜為±2nm， 并具有微區(qū)測(cè)量功能、測(cè)量速度快、自動(dòng)化程度高。特別是隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用，除了上述的檢測(cè)技術(shù)方式外薄膜厚度的測(cè)量方法還可以用超聲波傳感器來(lái)對(duì)薄膜厚度進(jìn)行檢測(cè)，工采網(wǎng)推薦的MaxBotix 超聲波傳感器 － MB7480是高性能超聲波精度 測(cè)距儀可在空氣中提供高精度，高分辨率的超聲波測(cè)距。

超聲波傳感器用于工業(yè)過(guò)程薄膜厚度監(jiān)控的解決方案

超聲波傳感器 － MB7480系列適用于自動(dòng)化／過(guò)程控制應(yīng)用的高性?xún)r(jià)比解決方案，其中精確的測(cè)距，低電壓操作，節(jié)省空間，需要低成本和IP67耐候性。該傳感器組件允許其他更昂貴的精密測(cè)距儀的用戶(hù)在不犧牲性能的情況下降低系統(tǒng)成本。傳感器輸出可與現(xiàn)有PLC設(shè)備配合使用，也適用于長(zhǎng)距離電纜敷設(shè)的應(yīng)用。

超聲波傳感器MB7480 特點(diǎn)：

IP67防塵防水標(biāo)準(zhǔn)封裝

體積小低成本方案

高分辨率

傳感器直接報(bào)告距離讀數(shù)

實(shí)時(shí)標(biāo)定，抗聲音和電子噪音

可測(cè)距離長(zhǎng)達(dá)5米

超聲波傳感器MB7480產(chǎn)品參數(shù)：

1、檢測(cè)距離：50cm～5m

2、波束角：11°

3、供電電壓：10V－32V

4、采樣速率：7．5Hz

5、工作溫度：－40℃～ ＋65℃

6、輸出方式：4～20mA模擬電流

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