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PICOSUN™ R-200高級(jí)型

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:干燥機(jī)
  • 所在地:
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  • 更新時(shí)間:2024-02-03 10:59:35
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:28條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2024-02-03
  • 最近登錄:2024-02-03
  • 聯(lián)系人:殷經(jīng)理
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PICOSUN™ R-200高級(jí)型 PICOSUN™R-200高級(jí)型ALD系統(tǒng)是一款研發(fā)型產(chǎn)品, 應(yīng)用領(lǐng)域廣泛, 例如:電子元器件, MEMS器件、顯示器、發(fā)光二極管、激光器以及透鏡、光學(xué)部件、珠寶、硬幣、醫(yī)療植入物等3D部件。

詳情介紹

PICOSUN™ R-200高級(jí)型ALD系統(tǒng)是ALD科研設(shè)備市場(chǎng)的, 在擁有百用戶。它已經(jīng)成為一些創(chuàng)新公司和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā) 工具。

靈活的設(shè)計(jì)確保沉積高質(zhì)量的ALD薄膜,超靈活的系統(tǒng)配置也能滿足用戶未來(lái)的需求和應(yīng)用。的熱壁設(shè)計(jì)、獨(dú)立的前驅(qū)體管 路和特殊的載氣設(shè)計(jì), 使得無(wú)顆粒沉積廣泛  應(yīng)用于平面晶圓、 3D基片和所有納米尺度的  材料。即使在挑戰(zhàn)性的多孔材料、超高深 寬比和納米顆粒表面沉積, 系統(tǒng)都能實(shí)現(xiàn)的均勻性, 這些都?xì)w功于我們的技術(shù)  Picoflow™。Picosun™R-200高級(jí)型系統(tǒng)配備功 能強(qiáng)大和易于更換的液體、氣體和固體前驅(qū)體源。高效率和擁有的遠(yuǎn)程等離子選項(xiàng)  可以沉積金屬而不發(fā)生短路,不存在等離子  體損壞的危險(xiǎn)。系統(tǒng)可集成手套箱, 超高真空 系統(tǒng)、手動(dòng)或半自動(dòng)加載系統(tǒng), 集群系統(tǒng), 粉末反應(yīng)腔, 卷對(duì)卷反應(yīng)腔和各種在線分析系統(tǒng), 使您的研究變得高效和靈活。 即使將來(lái)您改變研究領(lǐng)域, 它依舊會(huì)是您幫手!


技術(shù)參數(shù):

襯底尺寸和類型

?    50-200 mm/片

?    156 mm x 156 mm 太陽(yáng)能硅片

?    3D 復(fù)雜表面襯底

?    粉末與顆粒

?    小批量

?    多孔, 通孔, 高深寬比(HAR)樣品 (可達(dá) 1:2500)


工藝溫度

?    50 – 500 °C ,等離子450°C (650 °C加熱盤(pán)可定制)


沉積材料

?    Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN, 以及金屬Pt 或者 Ir


基片加載

?    氣動(dòng)升降, 手動(dòng)裝載

?    預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手(Load lock)

?    半自動(dòng)機(jī)械裝置

?    集群系統(tǒng)的批量裝載(Cassette-to-cassette)


前驅(qū)體

?    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體

?    6根獨(dú)立源管線, 最多加載12個(gè)前驅(qū)體源(加 上 Plasma管路, 共7根獨(dú)立源管線)


選件

?    集群工具, PICOFLOW™擴(kuò)散增強(qiáng)器, roll-to-   roll腔室、超高真空兼容、 RGA、N2發(fā)生器、尾 氣處理器、定制設(shè)計(jì), 手套箱集成(用于惰性 氣體下裝載)

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