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PICOSUN™P-300BV

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:凍干粉
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2024-02-03 11:05:44
  • 瀏覽次數(shù):179
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上海磊微科學(xué)儀器有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:28條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2024-02-03
  • 最近登錄:2024-02-03
  • 聯(lián)系人:殷經(jīng)理
產(chǎn)品簡介

PICOSUN™P-300BV PICOSUN™P-300BV型原子層沉積系統(tǒng)是一款批量生產(chǎn)型設(shè)備, 用于加工LED、分立器件以及MEMS器件,例如:打印讀頭、傳感器、麥克風(fēng)等。

詳情介紹

PICOSUN™ P-300系統(tǒng)已經(jīng)成為高產(chǎn)能ALD制 造業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。擁有的熱壁、獨立的 前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計, 確保我們可  以生產(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低顆粒水平和  的電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì)量ALD薄膜。  高效緊湊的設(shè)計使得維護(hù)更加方便、快捷, 限度的減少了系統(tǒng)的維護(hù)停工期和使用成  本。擁有技術(shù)的Picoflow™使得在超高深 寬比結(jié)構(gòu)上沉積保形性薄膜更高效, 并已在  生產(chǎn)線上得到驗證。

PICOSUN™ P-300BV系統(tǒng)代表了的工業(yè) 化ALD工藝水平。這個系統(tǒng)是為半自動化的批 量生產(chǎn)而設(shè)計。設(shè)備本身針對快速批量生產(chǎn)  進(jìn)行了優(yōu)化,并允許通過SECS/GEM整合到自 動化生產(chǎn)線上。擁有加熱選項的真空加載系 統(tǒng)可以對敏感的基底進(jìn)行潔凈加工并沉積金 屬氮化物薄膜。

PICOSUN™ P-300BV是創(chuàng)新驅(qū)動行業(yè)的 ALD系統(tǒng)!


襯底尺寸和類型

?   200mm晶圓 25片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

?    150mm 晶圓 50片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

?    100mm 晶圓 75片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

?    非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底(使用定制夾具)


工藝溫度

?    50 – 450°C


標(biāo)準(zhǔn)工藝

?   批量生產(chǎn)的平均工藝時間小于10秒/循環(huán)*

?   Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬

?    同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**


基片裝載

?    立式半自動裝載(一或兩個cassette位置)

?    裝載室加熱功能可選


前驅(qū)體

?    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源

?    源瓶余量傳感器, 提供清洗和裝源服務(wù)

?     4根獨立源管線, 最多加載8個前驅(qū)體源

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