通過(guò)消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行準(zhǔn)確的XY掃描
用于樣品和探針的獨(dú)立閉環(huán)XY和Z柔性
掃描器整個(gè)掃描范圍內(nèi)的線性度誤差小于1nm 精確的高度測(cè)量保留真實(shí)的樣品表面形貌信息,無(wú)需軟件處理.
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Park NX10 通過(guò)消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行準(zhǔn)確的XY掃描用于樣品和探針的獨(dú)立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器整個(gè)掃描范圍內(nèi)的線性度誤差小于1nm精確的高度測(cè)量保留真實(shí)的樣品表面形貌信息,無(wú)需軟件處理
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