寬量程壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

        D700WR 安裝了一個新的限流器，專為范圍廣泛的控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有基于 CRITERION™ 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制到滿量程的 0.1%，這有助于用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。例如，如果系統(tǒng)安裝了多個 MFC 用于高低流量控制，用戶可以減少 MFC 的數(shù)量，并在同一位置使用另一個 MFC 來實(shí)現(xiàn)不同的目的。

特征

• 0.1～99%寬范圍控制，小流量精度高 

  為流程優(yōu)化提供靈活性  

• ≤ 500ms 升壓響應(yīng) 

  提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能 

• 堅(jiān)固的 CIP 壓力傳感器

  減少大批量生產(chǎn)中的停機(jī)時間和人工成本 

• PFA 噴嘴使閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能提高 10 倍 

  具有較低顆粒風(fēng)險的穩(wěn)健性可減少停機(jī)時間并優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監(jiān)控功能 

  為更智能的故障預(yù)測提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)  

狀態(tài)監(jiān)視功能的輸出項(xiàng)目

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