高速精密壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

        關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)未來的創(chuàng)新，以及前沿存儲(chǔ)器和邏輯設(shè)備從實(shí)驗(yàn)室到工廠的轉(zhuǎn)變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號(hào)，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

特征

• 工具上氣體和滿量程配置更改 *僅 EtherCAT 

  為流程優(yōu)化提供靈活性  

• 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制 

  提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能 

• 小流量的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105) 

  為需要小流量的過程提供靈活性 

• PFA 噴嘴更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性 

  具有較低顆粒風(fēng)險(xiǎn)的穩(wěn)健性可減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量  

• 狀態(tài)監(jiān)控功能 

  為更智能的故障預(yù)測(cè)提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)  

狀態(tài)監(jiān)視功能的輸出項(xiàng)目

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