壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

SEC-Z700X 系列配備可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。

壓力不敏感
新的高性能功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)。典型的多室氣體管路有管路調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免壓力波動引起的質(zhì)量流量控制器串擾現(xiàn)象。SEC-Z700X 系列具有高穩(wěn)定性，可在不影響上下游壓力波動的情況下控制氣流。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

特征

• 多氣體/多范圍功能
  氣體類型和滿量程流量可由客戶更改

• 可變 PID 功能在整個流量范圍內(nèi)提供高速響應(yīng)（1 秒內(nèi)）

• 緊湊型氣體管線
  無需調(diào)節(jié)器、傳感器和過濾器

• 穩(wěn)定控制氣流，不受上下游壓力波動的影響

• 集成入口壓力傳感器

• 板載多顯示器

• 保修 1% Set Point 高精度

• 超潔凈設(shè)計——金屬隔膜，全不銹鋼SUS-316L和拋光表面處理（標準）。

• 尺寸緊湊
  相同的接頭尺寸可達 50 SLM

• 信號兼容性
  Analog/RS485 Digital Model , DeviceNet™ Model

• 網(wǎng)絡(luò)功能
  由數(shù)字信號控制。

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