多范圍/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

這是 HORIBA 的數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號。它具有多范圍/多氣體功能，使用戶能夠在現(xiàn)場快速、輕松地更改氣體類型或滿量程流量。
憑借高精度 +/- 1.0% SP、壓電執(zhí)行器閥、高速響應(yīng)和全金屬，該質(zhì)量流量控制器適用于提高過程產(chǎn)量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信均可用。

特征

• 高精度 ±1.0% SP
  該質(zhì)量流量控制器的線性由多項式近似曲線補償，并在所有流量控制范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度。為了提高實際氣體精度，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)均采用HORIBA STEC的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)進行測量。

• 高速響應(yīng)
  搭載“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)?？勺?PID 根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。這允許在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化 PID 因子。

• 多氣體/多范圍解決方案
  配置軟件可以快速輕松地更改規(guī)格。一個關(guān)鍵特征是無需從氣體面板或管道上拆下質(zhì)量流量控制器即可進行更改。這減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量；節(jié)省時間和成本。

• 質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X 適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。

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