金屬密封壓力控制器SLA7840

        穩(wěn)定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，限度優(yōu)化處理效果

        布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設計特點是經(jīng)久耐用，同時還具備持久和得到認可的準確性，液體測量和控制領域的企業(yè)用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術用于自身的熱質(zhì)量流量控制器。

        電子壓力控制器不存在傳統(tǒng)機械彈簧式隔膜壓力調(diào)節(jié)器所導致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發(fā)生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數(shù)可無限期使用。

        另外還提供帶有內(nèi)部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內(nèi)進行壓力控制。結果：能夠始終確保關鍵半導體工藝準確執(zhí)行并得到控制的壓力控制器。

關鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 設計精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應用

選擇自身項目要求的壓力控制設備。

高純度流路，的可重現(xiàn)性、穩(wěn)定性和響應速度

型號 SLA7840

        布魯克斯 SLA7840 型設備為高純度金屬密封儀器，可同時控制壓力并測量流速。遠程壓力傳感器信號輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標值。相較于其他金屬密封控制器，共面閥可降低壓力變化產(chǎn)生的影響并降低泄漏速度，從而使設備在長時間使用的條件下更加穩(wěn)定。

特點

• 一體化壓力傳感器

• 響應時間：<1 秒

• 流量測量范圍寬，滿量程流速測量范圍可達 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm

• 壓力為 500 psig

• 全金屬密封流路：達 32µ 英寸的 Ra 表面處理

• 共面閥可降低泄漏速度

• 多氣體/多量程功能可存儲并與設定多達 10 種氣體校準信息并且僅需一臺設備即可實現(xiàn)

• DeviceNet® 和模擬通信選件

優(yōu)勢

• 共面閥控制范圍的提升可降低過程壓力變化所產(chǎn)生的影，響從而使設備在長時間使用時更加穩(wěn)定。

• 全金屬接液流路可使工藝條件不受顆粒物、水汽和污染物影響

• 設備還可配置為質(zhì)量流量控制器以用于校準或測試

• 多氣體/多量程功能可減少庫存

• 共面閥可擴大控制范圍從而減少過程控制所需部件數(shù)量

• 封裝結構緊湊，節(jié)省空間，容易改裝

• 數(shù)字通信便于調(diào)試，能減少系統(tǒng)布線

型號

規(guī)格

性能

等級

機械

電氣