超精密直線伺服電機(jī)

行程: 6～990mm 

可以任意長(zhǎng)度的滑軌部分 

應(yīng)用中加速度達(dá)：400m/s2 

額定出力：6000N 340mm

定位精度：小于10nm 

下面僅是與世界的德國(guó)空氣軸承生產(chǎn)商 Aerolas 公司合作為幾個(gè)電子行業(yè)企業(yè)生產(chǎn)的設(shè)備。

超精密二維測(cè)量平臺(tái) 

應(yīng)用范圍 : 半導(dǎo)體技術(shù) 
應(yīng)用 : 測(cè)量孔的通否 / 過(guò)光 
行程 : 340 mm x 330 mm 
定位精度 : < 10 nm （全程范圍內(nèi)） 
驅(qū)動(dòng)方式 : 磨擦輪驅(qū)動(dòng) 
加速度 : 0, 25 m /s2 

高動(dòng)態(tài)直線電機(jī) 

采用 AeroLas 的空氣軸承可以使直線電機(jī)有高的精度和高動(dòng)態(tài)特性
實(shí)際加速度達(dá)到 400 m /s2( 理論上可達(dá) 1.000.000 m/s3) 
行程 ：100 mm 
負(fù)載 ：2 kg
應(yīng)用于齒輪測(cè)量，幾年來(lái)已連續(xù)運(yùn)行 60 億次以上 

高加速度雙軌式直線電機(jī) 

截面 ：500 mm x 250 mm 
加速度達(dá) : 300 m /s2 且精密定位
采用空氣軸承,受溫度變化影響小,電纜不動(dòng)
行程 ： 150 mm 
負(fù)載 ： 10 kg ，
加速度 : > 300 m /s2 
速度 : 4,7 m /s

采用空氣軸承的精密測(cè)量單元 

應(yīng)用于汽車(chē)行業(yè) 
行程 : 8 mm 
頻率 : 50 Hz

應(yīng)用領(lǐng)域 : 機(jī)床主驅(qū)動(dòng)軸 

行程 : > 700 mm 
運(yùn)動(dòng)負(fù)載 : 50 kg 
電機(jī) : 直線電機(jī) 
加速度 : 50 m /s2 
速度 : 4,5 m /s 
定位精度 : < 0,2 μm ( 無(wú)爬行和顫抖 )

圓筒式精密直線伺服電機(jī)
行程：27.5～137.5mm

加速度達(dá)：239m/s2

速度：5.74m/s

出力：1520N

定位精度：小于0.2μm 

方筒式精密直線伺服電機(jī)

行程: 6～32mm 

優(yōu)異的加減速度特性 

適應(yīng)高速精密往返運(yùn)動(dòng)

出力: 50N

定位精度: 小于0.2μm